| BX-193-1.5X-B | |
| 产品型号 | BX-193-1.5X-B |
| 工作波长 | 193nm |
| 扩束倍率 | 1.5X |
| 最大入射直径 | 20mm |
| 最大出射直径 | 28mm |
| L1(总长) | 91mm |
| L2 | 19.36mm |
| 外径 | 48mm |
| 入射端螺纹 | M40X1 |
| 出射端螺纹 | M45X1 |
BX-193-1.5X-B 是一款专为 193nm 深紫外激光设计的高性能可调式激光扩束镜,由光科激光(LENSTEK)出品。其扩束倍率为 1.5 倍,最大入射直径达 20mm,最大出射直径为 28mm,支持大口径光束传输需求。
193nm 深紫外激光具有波长短、光子能量极高的特点,是高端光刻、前沿科研及超高精度微细加工领域的核心光源。该扩束镜采用高品质熔融石英材料,配合精密 193nm 增透镀膜工艺,确保在深紫外波段具备优异的透过率与高损伤阈值,能够承受高功率激光系统的长期使用。产品支持发散角可调功能,便于在不同激光系统中实现最佳匹配。入射端采用 M40×1 标准螺纹接口,总长仅 91.27mm,结构紧凑,方便集成于各类激光系统中。
BX-193-1.5X-B 广泛应用于微电子制造、半导体器件加工、精密切割、纳米制造、生物医学及科学研究等领域。1.5 倍的低倍率扩束设计能够在保持光束质量的前提下适度扩展光斑,有效降低单位面积能量密度,是深紫外激光系统中光斑尺寸微调与能量密度控制的理想选择。

| 外观尺寸 | ZEMAX 设计文件 | 三维 STEP |
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