| BX-193-2X | |
| 产品型号 | BX-193-2X |
| 工作波长 | 193nm |
| 扩束倍率 | 2X |
| 最大入射直径 | 20mm |
| 最大出射直径 | 28mm |
| L1(总长) | 91.27mm |
| L2 | 9.78mm |
| 入射端螺纹 | M40X1 |
| 出射端螺纹 | M40X1 |
BX-193-2X 是一款专为 193nm 深紫外激光设计的高性能激光扩束镜，由光科激光（LENSTEK）出品。其扩束倍率为 2 倍，最大入射直径为 20mm，最大出射直径为 28mm，总长仅 91.27mm，结构紧凑，便于集成于各类激光系统中。
193nm 深紫外激光具有波长短、光子能量极高的特点，是高端光刻、前沿科研及超高精度微细加工领域的核心光源。该扩束镜采用高品质熔融石英材料，配合精密 193nm 增透镀膜工艺，确保在深紫外波段具备优异的透过率与高损伤阈值，能够承受高功率激光系统的长期使用。
该扩束镜采用经典的伽利略式光学结构设计，光路无焦点，不仅提升了功率耐受性，还有效抑制了像差，确保输出光束具备优异的准直精度与波前质量。产品支持发散角可调功能，便于在不同激光系统中实现最佳匹配。入射端与出射端均采用 M40×1 标准螺纹接口，方便快速集成与校准定位。
BX-193-2X 广泛应用于微电子制造、半导体器件加工、生物医学、纳米制造及科学研究等领域。2 倍的低倍率扩束设计能够在保持光束质量的前提下适度扩展光斑，有效降低单位面积能量密度，是深紫外激光系统中光斑尺寸微调与能量密度控制的理想选择。
| 外观尺寸 | ZEMAX 设计文件 | 三维 STEP |
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