| BX-193-11X-D60 | |
| 产品型号 | BX-193-11X-D60 |
| 工作波长 | 193nm |
| 扩束倍率 | 11X |
| 最大入射直径 | 8mm |
| 最大出射直径 | 60mm |
| L1(总长) | 191.45mm |
| 入射端螺纹 | M22X0.75 |
| 出射端螺纹 | M70X1 |
BX-193-11X 是一款专为 193nm 深紫外激光设计的高性能可调式激光扩束镜，由光科激光（LENSTEK）出品。其扩束倍率为 11 倍，最大入射直径为 8mm，最大出射直径达 60mm，总长仅 191.45mm，结构紧凑，便于集成于各类激光加工系统中。
193nm 深紫外激光具有波长短、光子能量极高的特点，是高端光刻、前沿科研及超高精度微细加工领域的核心光源。该扩束镜采用高品质紫外级熔融石英材料，配合精密 193nm 增透镀膜工艺，确保在深紫外波段具备优异的透过率与高损伤阈值，适用于高功率激光系统。该产品最大的技术亮点在于其可调式设计，支持发散角精密调节，用户可根据实际应用需求调整光束准直度，确保在不同激光系统中实现最佳匹配效果。精密的光学装配与镀膜工艺使其具备出色的热稳定性与长期工作可靠性。入射端采用 M22×0.75 标准螺纹接口，出射端采用 M30×1 螺纹接口，便于快速集成与校准定位。
BX-193-11X 广泛应用于微电子制造、半导体器件加工、高端光刻技术、生物医学、纳米制造及科学研究等领域。11 倍的高倍率扩束能够有效压缩光束发散角，显著提升激光的远场准直性与聚焦能力，是深紫外激光精密加工与传输系统的理想扩束解决方案。
| 外观尺寸 | ZEMAX 设计文件 | 三维 STEP |
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BX-193-11X-D60.ZAR
BX-193-11X-D60.