BX-193-2.5X 是一款专为 193nm 深紫外激光设计的可调式激光扩束镜，由光科激光（LENSTEK）出品。其扩束倍率为 2.5 倍，采用高品质深紫外级熔融石英材料与精密193nm增透镀膜工艺，确保在深紫外波段具备优异的透过率与高损伤阈值，能够承受高功率深紫外激光系统的长期稳定工作。

193nm 深紫外激光具有波长短、光子能量极高的特点，是高端光刻、前沿科研及超高精度微细加工领域的核心光源。该扩束镜采用优化的伽利略式光学结构，由正负透镜组合而成，内部无聚焦点，可有效避免高功率深紫外激光应用中的空气电离风险，同时也更适用于高功率激光系统。该产品最大的技术亮点在于其可调式设计，支持发散角精密调节，用户可根据实际应用需求调整光束准直度，确保在不同激光系统中实现最佳匹配效果。精密的光学装配工艺使其具备出色的热稳定性与波前质量。标准螺纹接口设计便于快速集成于现有系统进行校准与定位。

BX-193-2.5X 广泛应用于微电子制造、半导体器件加工、生物医学、纳米制造及科学研究等领域。2.5 倍的中等倍率扩束设计能够在保持光束质量的前提下适度扩展光斑，有效降低单位面积能量密度，是深紫外激光系统中光斑尺寸微调与能量密度控制的理想选择。