BX-193-5X-D60 是一款专为 193nm 深紫外激光设计的高性能可调式激光扩束镜，由光科激光（LENSTEK）出品。其扩束倍率为 5 倍，最大入射直径为 16mm，最大出射直径达 60mm，总长 200mm，采用 M40×1 标准螺纹接口，结构设计紧凑，便于集成于各类深紫外激光系统中。

193nm 深紫外激光具有波长短、光子能量极高的特点，是高端光刻、前沿科研及超高精度微细加工领域的核心光源。该扩束镜采用高品质深紫外级熔融石英材料与精密镀膜工艺，配合193nm增透膜，确保在深紫外波段具备优异的透过率与高损伤阈值，能够承受高功率深紫外激光系统的长期稳定工作。该产品采用可调式设计，支持发散角精密调节，用户可根据实际应用需求灵活调整光束准直度，确保在不同激光系统中实现最佳匹配效果。扩束镜采用优化的伽利略式光学结构，由正负透镜组合而成，内部无聚焦点，可有效避免高功率激光应用中的空气电离风险，更适用于高功率激光系统。精密的光学装配与镀膜工艺使其具备出色的热稳定性与波前质量。

BX-193-5X-D60 广泛应用于微电子制造、半导体器件加工、精密切割、纳米制造、生物医学及科学研究等领域。5 倍扩束配合 60mm 的大口径输出，能够有效压缩光束发散角，显著提升激光的远场准直性，是深紫外激光精密加工与科研应用的理想扩束解决方案。