266nm激光扩束镜是专为深紫外（DUV）Nd:YAG激光器设计的精密光学元件，广泛应用于高精度激光加工、半导体制造及科研检测等领域。该系列产品采用伽利略型空气隙透镜结构，有效避免了胶合透镜在深紫外高能量条件下可能产生的损伤问题。

核心优势

本系列透镜针对266nm波长进行优化，采用高品质合成熔融石英基材，搭配高性能V型增透镀膜，标称透过率可达98.5%以上。在光学设计层面，产品可实现λ/10的透射波前误差（输入光束4mm时），确保在深紫外苛刻条件下获得近乎完美的准直光束质量。部分高端产品还集成了屈光度调节功能，允许用户对出射光束的平行度进行精细调整，以适应不同加工距离或光学系统配置的要求。

应用领域

266nm深紫外激光因波长短、光子能量高，可实现亚微米级乃至纳米级的超精细加工。扩束镜在此类系统中扮演关键角色，用于扩展激光束直径、减小发散角，为后续的聚焦或扫描光学系统提供高质量的准直光束。典型应用涵盖：高密度PCB/FPC微孔钻孔、半导体晶圆划片与切割、液晶显示器（LCD）修复、光纤光栅刻写，以及光子晶体和微纳结构制造等高端工业制程。

技术特点

为满足高功率深紫外激光严苛的使用要求，266nm扩束镜在材料和结构上均经过专门设计。其核心光学元件采用耐深紫外辐照的熔融石英材料，机械外壳多采用黑色阳极氧化铝，结构紧凑轻量化。输入/输出接口通常为标准公制螺纹（如M30x1、M34x0.5等），便于与现有激光加工系统集成。在选型时，需重点关注产品的激光损伤阈值，以确保在高能量密度工况下的长期稳定运行。