355nm F-Theta扫描透镜（又称平场聚焦镜）是专为紫外激光加工系统设计的关键光学元件，广泛应用于激光打标、精密切割、钻孔及微纳加工等领域。

产品特点

本系列透镜针对355nm紫外波段进行优化设计，采用高品质紫外熔融石英（UV Fused Silica）作为透镜基材，具备优异的热稳定性和极高的激光损伤阈值。光学结构采用空气隙透镜组设计，有效避免内部焦点产生，可承受高达4kW的激光功率而无需主动冷却。

光学性能

F-Theta透镜的核心特性在于其独特的位置-角度线性关系：像面上的光斑位置与扫描角度成正比（h = f × θ），可极大简化扫描控制系统的设计。产品提供远心与非远心两种类型，远心设计可使聚焦光束主光线在整个扫描范围内垂直于焦平面，确保边缘与中心光斑一致性优异。扫描范围覆盖从50mm×50mm至158mm×158mm等多种规格，聚焦光斑尺寸可达微米级精度。

机械规格

标准安装接口为M85×1螺纹，兼容主流扫描振镜系统。部分产品可选配保护性窗片，有效防止加工粉尘污染光学镜片。

典型应用

355nm F-Theta扫描透镜广泛应用于半导体晶圆切割与划片、柔性电路板钻孔、光伏电池划线、精细激光打标以及医疗器械精密加工等高端制造领域。紫外波段具有光子能量高、热影响区小的特点，特别适用于对加工精度和热效应控制有严苛要求的微细加工场景。