193nm激光扩束镜是专为深紫外准分子激光器设计的核心光学组件，广泛应用于高端光刻、半导体制造及前沿科研领域。该系列产品精确适配193nm波长，采用经典的伽利略式无焦光学设计，有效抑制像差，确保输出光束具备优异的准直精度与波前质量。

核心优势

本系列扩束镜选用深紫外级熔融石英材料，具备极高的激光损伤阈值与优异的热稳定性。镜片加镀193nm专用增透膜，确保≥96%的透过率，有效抵抗深紫外激光辐照，延长使用寿命。产品支持1.5倍至50倍多种固定倍率选项，最大出射口径可达150mm，满足不同应用场景对光束扩展的需求。

技术特点

扩束镜采用可调式发散角设计，可根据不同激光器特性进行精细校准，输出发散角与放大倍率成反比，高倍率型号可实现超低发散角与超远距离准直传输。入射端配备M22×0.75或M40×1标准螺纹接口，便于快速集成到现有激光系统中。

应用领域

193nm深紫外激光扩束镜在微电子制造、半导体器件光刻、生物医学研究和纳米制造等高端领域发挥着关键作用，特别适用于需要超高精度光束控制的科学实验与工业制程。