BX-193-10X-D60 是一款专为 193nm 深紫外激光设计的高性能可调式激光扩束镜，由光科激光（LENSTEK）出品。其扩束倍率为 10 倍，最大输入光束直径为 8mm，最大输出口径为 60mm，总长 190mm，结构紧凑，便于集成于各类深紫外激光系统中。

193nm 深紫外激光具有波长短、光子能量极高的特点，是高端光刻、前沿科研及超高精度微细加工领域的核心光源。该扩束镜采用高品质深紫外级熔融石英材料与精密镀膜工艺，确保在 193nm 波段具备优异的透过率与高损伤阈值，能够承受高功率深紫外激光系统的长期稳定工作。该产品最大的技术亮点在于其可调式设计，支持发散角精密调节，用户可根据实际应用需求调整光束准直度，确保在不同激光系统中实现最佳匹配效果。扩束镜采用优化的伽利略式光学结构，结构紧凑、调节方便，内部无聚焦点，可有效避免高功率激光应用中的空气电离风险。入射端采用 M22×0.75 标准螺纹接口，便于快速集成于现有系统进行校准与定位。

BX-193-10X-D60 广泛应用于高端光刻技术研发、量子光学、超快现象研究、高分辨率光谱学、微电子制造、半导体器件加工、生物医学及超高精度微纳加工等领域，是深紫外激光精密加工与科研应用的理想扩束解决方案。