可调式紫外激光扩束镜，工作波长193nm，倍率50倍，最大150mm出光口径

产品概述

这是一款专为高端科研与工业应用设计的超高倍率激光扩束镜，工作波长严格匹配193nm深紫外激光，提供高达50倍的光束扩展能力与150mm的超大通光口径。产品采用深紫外级特种光学材料与抗损伤镀膜工艺，确保极高的能量通过率与长期功率稳定性，是光刻、前沿科研、超高精度微加工等领域的理想光束控制核心部件。

核心亮点

1. 50倍超高倍率光束扩展

提供极致的光束扩展比，显著减小发散角，实现超远距离准直传输。

专为需要极长焦深或超精细聚焦光斑的顶级应用设计。

2. 150mm超大通光口径

支持大直径入射光束，最大限度收集光能量，适合高功率激光系统。

有效降低系统内的能量密度，提升光学元件的安全性与耐用性。

3. 专为193nm深紫外波段优化

所有光学元件均采用深紫外级别熔融石英、氟化钙等深紫外专用材料，保证193nm处高透过率。

多层抗损伤镀膜，有效抵抗193nm激光辐照，延长使用寿命。

4. 卓越的光学性能

波前畸变优于λ/10 @ 193nm，确保光束质量无损传输。

精密机械结构，提供优异的指向稳定性与环境适应性。

典型应用

高端光刻技术研发：用于极紫外（EUV）相关研究、先进光刻光源开发。

前沿科学研究：量子光学、超快现象研究、高分辨率光谱学等需要超高精度光束控制的实验室。

超高精度微纳加工：用于制造光子晶体、微光学元件等亚微米至纳米级结构。

精密干涉测量系统：用于引力波探测、超大尺寸光学元件面形检测等顶级计量领域。

支持定制

我们可根据您的具体需求，提供全方位定制服务：

倍率与口径的调整

特定的机械接口（法兰、支架等）

真空或特殊气体环境适配版本

针对特定功率或脉冲特性的优化设计